TESCAN S8000G鎵離子型雙束掃描電鏡

TESCAN S8000G鎵離子型雙束掃描電鏡

泰思肯
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S8000G是TESCAN最新S8000系列掃描電鏡的第一個新成員,是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統,它可以提供無與倫比的圖像質量,具有強大的擴展分析能力,并能以極佳的精度、效率完成復雜的納米加工和操作,可滿足現今工業研發和學術界研究的所有需求。


S8000G FIB-SEM的優點:新一代鏡筒內電子加速、減速技術,保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力首次配置的靜電-電磁復合物鏡,物鏡無磁場外泄,實現磁性樣品高分辨成像及分析

配置4個新一代探測器,可實現9種圖像觀測,對樣品信息的采集更加全面配置大型樣品室,有超過20個擴展接口,為原位觀測、分析創造了良好的工作環境可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,并獨家實現與TOF-SIMS、Raman聯用新一代操作軟件和自動功能,FIB鏡筒具有全自動的離子鏡筒對中,極大簡化了操作



新一代 Orage? Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰性的納米加工任務


TESCAN S8000配置了最新的BrightBeam?鏡筒,實現了無磁場超高分辨成像,可以最大化的實現各種分析,包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率,特別適合對電子束敏感樣品和不導電樣品的分析。創新的Orage? Ga FIB鏡筒配有最先進的離子槍和離子光學鏡筒,使得TESCAN S8000G成為了世界頂級的樣品制備和納米圖形成型的儀器。

S8000G束流可達100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。

S8000G離子能量最低可達500eV,擁有更優秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無損超薄TEM樣品。

可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,并獨家實現與TOF-SIMS、Raman一體化。


新一代OptiGIS?氣體注入系統

S8000可配置最新的多種探測器,包括透鏡內Axial detect 以及 Multidetect,可選擇不同角度和不同能量來收集信號,體現更多種類的信息,同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。S8000G有兩種氣體注入系統可供選擇,標準的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS,單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化學氣體,避免了以往多針氣體注入系統樣品倉內占用空間大的問題。

兩種氣體注入系統均可以選擇多種沉積氣體,其中W、Pt、C等用于導電材料沉積,SiOx用于絕緣材料沉積,XeF2、H2O等用于增強刻蝕,或其它定制氣體。




新一代Essence?操作軟件,更簡單、高效的操作平臺

S8000可配置最新的多種探測器新操作軟件極大簡化了用戶界面,能快速訪問各主要功能,減少了繁瑣的下單菜單操作,并優化了操作流程向導,易于學習,兼容多用戶需求,可根據工作需要定制操作界面。

新穎的樣品艙內3D空間位置和移動軌跡模擬功能,可避免誤操作,造成碰撞。


樣品艙內的3D空間位置和移動軌跡模擬


集成多項創新性設計,拓展新應用領域的利器

S8000可配置最新的多種探測器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的首個成員,集成了BrightBeam? SEM鏡筒、Orage? GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統等多項創新設計,在高分辨能力、原位應用擴展能力和分析擴展能力方面達到了業內頂級水平,此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗。

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